报告题目：MEMS传感器在材料分析领域的应用探索

报 告 人：许鹏程，副研究员，中国科学院上海微系统与信息技术研究所

报告时间：2021年4月5日下午，15：05-16：40

报告地点：一教246

报告摘要：

学科交叉与融合是当今科学发展的趋势。本报告主要介绍微机电系统（MEMS）技术在表界面物理化学方面的交叉研究进展以及未来的发展趋势。报告首先介绍谐振式微悬臂梁的设计、制造以及微质量测试原理。然后以功能化介孔材料和MOF材料为例，介绍高性能微质量型敏感材料的设计、优化与传感机理研究思路。在此基础上，进一步以谐振悬臂梁为科学研究工具，探索了功能材料与目标分子之间表面作用热力学/动力学参数的定量提取方法。并通过精确测量的材料表界面热力学/动力学参数，探索纳米界面分子作用的机制与过程。最后，介绍基于谐振悬臂梁研制新一代材料分析系统（包括热重仪和程序升温脱附仪）的思路与进展。

报告人简介：

许鹏程，博士，中国科学院上海微系统与信息技术研究所副研究员，硕士研究生导师。2015年入选中科院青年创新促进会（青促会），许鹏程主要从事基于MEMS技术的微纳传感器相关研究，研究领域涉及信息、电子、化学、材料以及仪器仪表等多门类交叉学科。有70余篇SCI检索论文发表于Anal. Chem.、Nano Letters、Small、Sensors & Actuators B、biosensors & Bioelectronics、J. Mater. Chem. A、J. Am. Chem. Soc.、Adv. Funct. Mater.等期刊上，发表论文已经获SCI引用3000余次。在传感技术顶级国际会议（包括IEEE MEMS和Transducers）发表论文30余篇。获授权专利10余项。现主持国家重点研发计划课题1项、国家自然科学基金2项、上海市自然科学基金2项。现任中国电子学会气湿敏传感技术专委会委员和中国仪器